超精密静压和气浮应用

超精密静压直线导轨承载能力强，具有极高的直线度和定位精度，是超精密机床的关键部件，能够应用于精密自由曲面加工、半导体材料加工、传统机床导轨升级、精密检测等各种领域中。

气浮滑台稳定性强，定位精度高，能够应用于半导体和数据存储等领先的制造业。

气浮模块的气膜面设计保证气浮导轨的刚度，提高了定位平台的承载能力。

采用天然大理石作为基座，精度和稳定性更好，气浮直线滑台系统精度远高于传统的滚珠丝杠、机械轴承系统，同时具有较高的承载能力，适用于特种加工，精密检测等高精尖领域。